中國囤積343台浸沒式深紫外光刻機

By: www.scmp.com|2026/10/03 13:23:39

中國半導體工廠近年囤積約343台浸沒式深紫外光刻系統,價值數十億美元。Centre for Technology & Statecraft於2026年8月成立,9月下旬發布的報告由前美國出口管制官員Nicholas Brown與前白宮及商務部技術政策顧問Saif Khan共同撰寫。報告估計,其中約270台為阿斯麥Twinscan NXT:1980i。這些設備雖落後於極紫外光刻機,但可改造用於製造7納米級邏輯芯片及人工智慧處理器。中國晶圓廠2024年花費逾130億購入約90台NXT:1980i,2025年又購入89台。阿斯麥披露,中國占其淨系統銷售額比例2024年為41%、2025年為33%,2026年第一季度降至19%、第二季度降至14%。荷蘭自2023年9月起對NXT:2000i及更先進浸沒式深紫外設備要求出口許可,禁止運往中國;一年後許可要求擴展至NXT:1980i,但該型號仍可個案批准出貨。

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